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    石墨盘专用真空烤盘炉

     一.产品介绍

    真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

    二、设计特点

    1、后门设计热风电机

    2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

    3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

    三、技术指标

    使用温度

    1450℃

    最高温度

    1500℃

    绝热材料

    石墨纤维毯、石墨纸

    马弗材料

    SUS304

    加热元件

    石墨加热棒

    冷却方式

    气冷+循环风冷降温

    控温稳定度

    ±2℃,具有PID参数自整定功能

    炉膛温度均匀度

    ±5℃(恒温1550℃)

    控温热偶

    Wre5

    升温速率

    15℃/min(空载)

    控温点数

    1点

    降温速率

    1450℃至80℃,240分钟

    监测点数

    1点

    极限真空

    10-3torr级

    气氛

    可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≧99.999%

    抽气速率

    空载下,30min达到10-2torr

    报警;

    超温、断偶、停气等声光报警;

    设备颜色

    电脑驼灰色

    电源

    容量大于160KVA,3相5线,220/380VAC,50Hz

    参考型号

    MOLKP-518W710×H710×D1000mm)

    MOLKP-1000(W1000×H1000×D1000mm)

    MOLKP-1200(W1000×H1000×D1200mm)

     


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